二手 IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9259193 待售

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ID: 9259193
優質的: 1997
CMP System 1997 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472是一種晶圓研磨、研磨拋光設備,設計用於半導體晶圓的制造應用。該系統可實現非常均勻的表面光潔度,且最多具有較小的碟面和側壁平整度。該單元還可以支持各種基材和材料進行加工操作。該機由三個主要部件組成:靜電卡盤、拋光臺和電動旋轉臺。靜電卡盤具有兩步加熱溫度,可調節以容納直徑達8英寸的基板。拋光臺由塗層、耐腐蝕鋁制成,具有最大轉速和精加工質量的可調速度控制。最後,電動旋轉表允許處理和保存多達16英寸的晶片。該表還具有可變的研磨和拋光速度,可提供比手動操作更一致的優化和結果。此外,該工具還可以安裝一些附件,如溫度控制器、真空卡盤、力量計和定時資產。溫度控制器確保在整個處理過程中保持所需的溫度。真空卡盤可用於在拋光和研磨操作過程中將晶片牢固地固定到位。力計用於監測施加在晶片上的向下壓力,確保在整個操作過程中具有一致的拋光力。最後,集成計時模型提供精確的啟動/停止間隔,允許精確的拋光操作。總體而言,IPEC Avanti 472是一種綜合性的自動化晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於半導體晶圓制造應用。該系統提供精確、可重復和高效的拋光操作,是半導體和微電子工業的理想選擇。
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