二手 JEOL EM 09100 IS #9380743 待售

JEOL EM 09100 IS是一種多功能設備，設計用於執行晶圓研磨、研磨和拋光操作。該系統安裝在立式機櫃中,但也可與客戶提供的通風機或真空/氣體機櫃集成。該單元包括三個獨立的組件：研磨、研磨和拋光階段.機器的研磨階段用於晶圓材料的粗加工，為拋光過程做好準備。為此，該刀具采用了由高精度步進電機驅動的永磁卡盤。然後將磨輪放置在工作臺表面上方,並由單獨的高扭矩直流電動機驅動。該車輪由氧化鋁磨料制成，以確保切削和拋光速率一致。研磨階段用於磨碎晶片材料後對其表面進行精煉。在這一過程中，使用漿料分發器用拋光溶液將材料表面弄濕，這將起到潤滑劑的作用，使表面光滑和拋光。研磨臺由一個旋轉壓板、一個固定壓板和兩個磨盤組成。晶片材料被放置在旋轉和固定板之間，而漿液被分配到材料的表面。這種研磨過程有助於減少晶圓材料表面上殘留的粗糙，使其更加平滑和一致。拋光階段是資產晶圓加工過程的最後一步，用於生產具有微量精加工的表面。在這個過程中，使用了金剛石塗層的墊子在晶圓材料上賦予非常精確的光潔度。漿液溶液不斷地應用於表面，以確保一致的拋光。產生的表面在光學上是平坦的,沒有劃痕或其他缺陷。總體而言,EM 09100 IS是一種先進的型號,它將晶圓加工的三個階段-研磨、研磨和拋光-集中在一個落地櫃中。除了精密的材料加工外，設備還提供各種附加功能，如自動漿料分發器和精密步進電機控制。該系統非常適合在晶圓研磨、研磨和拋光方面實現可重復、精確和高質量的結果。