二手 JEOL IB-09010CP #293766541 待售

ID: 293766541
Ion milling system.
JEOL IB-09010CP是一種用於精密晶片工業生產的晶片研磨、研磨和拋光設備。它為廣泛的基板,包括矽、SiC、GaAs、藍寶石和其他結晶材料,提供了高通量、高精度、高品質。該系統采用兩步工藝,首先對晶片進行研磨,然後進行研磨和拋光。該裝置能夠研磨直徑達8英寸的晶片,工作精度高達5 µm。該機包括高速磨床、高精度磨床、空氣軸承和導電子系統。磨床配有變速直流電機,以功率效率高、使用壽命長而著稱。磨床設計精密晶片對準,具有手動執行器、主動感應高度分級傳感器、閉環空氣軸承等特點,操作平穩高效。晶圓研磨和拋光工藝采用高速直驅主軸電機,運行速度高達7500 rpm。它采用兩件式圈板設計,可快速加載和卸載晶片,並采用針對所加工的特定材料量身定制的金剛石磨料粉末。拋光過程是完全自動化的,利用先進的PLC控制工具和圖形用戶界面進行高效的操作和監控。資產還包括一個自動化的清潔就地模型,利用離子液體快速有效地從晶圓研磨、研磨、拋光設備內外清除磨料和其他汙染物。這樣可以確保系統沒有灰塵和碎片,從而實現長期的最佳性能。總體而言,JEOL IB-09010 CP是一種可靠、通用的晶圓研磨、研磨和拋光裝置,能夠在短周轉時間內提供高精度、高質量的結果。適用於各種材料和基材,提供了生產精密晶圓制造先進系統的經濟高效的手段。
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