二手 JEOL SM-09010 #293638040 待售

JEOL SM-09010是一種晶片研磨、研磨和拋光設備，設計用於在晶片上產生光滑、高質量的表面。該系統采用精密主軸設計，為研磨和拋光應用提供了卓越的精度和表面光潔度。該裝置利用電機驅動的主軸機對磨削和拋光工藝提供高度的控制和自動化。該工具能夠磨碎厚度超過1 µm的材料層,平均可產生0.3-0.7 µm RMS的晶圓表面粗糙度。主軸配有控制資產，方便晶圓的精確定位，優化研磨、研磨、拋光工藝。主軸還具有壓力傳感器模型，以確保達到最佳表面光潔度。主軸由無刷馬達驅動，能夠安靜的操作和卓越的重復性和精確度。設備對每個工藝使用兩個不同的磨盤。一種用於研磨和研磨，另一種用於拋光。每個圓盤的設計都能產生一致的高表面光潔度，對底層基板的損害最小。光盤采用階梯式設計,在磨削和拋光過程中實現均勻性。該系統還包括一個真空拾取穿梭機，用於在研磨、研磨和拋光工藝前後自動轉移晶圓。真空穿梭機還能夠拾取各種晶片類型，包括圓形、矩形和「開槽芯片形式」晶片。該機組另外配有液體冷卻機，以防止熱誘發缺陷的形成。總體而言,JEOL SM 09010提供了一種強大、可靠、精確的研磨、研磨和拋光工具,用於生產高質量的晶片。由於它的自動化能力和高精度主軸，它能夠一致地生產出優越的表面飾面，對基板的損害最小。