二手 JEOL SM-09010 #9055560 待售

JEOL SM-09010是一種自動晶片研磨、研磨和拋光設備，設計用於將厚膜電路從潔凈室帶到後端包裝裝配過程。該系統提供高通量、低顆粒汙染、精密厚度和表面平面度的控制，以實現最佳制造。JEOL SM 09010包括一個晶片卡盤，用於安全可靠的基板處理，並包括一系列研磨和拋光步驟，以達到所需的表面光潔度。晶片卡盤的安全固定和隔離系統能夠處理單個或多個薄或厚基板。根據所選擇的配置,保持和隔離系統可能因手動和自動化而異。對於多芯片模塊，卡盤提供了一種優化的夾緊壓力，可調以滿足應用要求。SM-09010包括一個集成的金剛石砂輪，用於整個晶圓旋轉過程中的精磨。這樣可以確保一致的表面紋理。砂輪還保證了較低的研磨壓力，防止刮擦。該單元還配備了一個研磨板，允許在該過程的研磨階段進行平整和厚度控制。研磨板由專有塗層制成，可提高效率並減少打滑。拋光階段是機器真正閃耀的地方。它使用執行器驅動的金剛石聚集墊來達到均勻的表面地形水平。這個墊子還設計用來減少壓力,同時防止毛刺的形成.在此階段可以達到低於3nm的RMS值。此外，SM 09010的拋光階段具有惰性氣體凈化，以及先進的溫度控制。這有助於確保一致的結果，並減少灰塵顆粒和其他汙染物的發生，這些汙染物可能會阻止清潔標準得到滿足。最後,JEOL SM-09010提供了一個信息顯示工具,可提供有關過程參數、結果和其他信息的連續實時反饋。資產還可以為每個過程周期生成全面的報告,從而能夠對質量數據進行深入分析,以實現最佳的產品純度和性能。總體而言,JEOL SM 09010晶圓研磨、研磨和拋光模型是滿足潔凈室制造標準的完整和自動化基板加工的理想選擇。它具有安全、可定制的固定系統、精密研磨和拋光階段以及信息顯示和分析功能,是生產高質量薄膜電路的理想解決方案。