二手 KARSTENS K62 #9066959 待售

KARSTENS K62是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，用於加工晶圓、基板和半導體工業中的其他組件。它是一個高度自動化、高精度的加工系統,可實現0.2 nm Ra的表面光潔度。它有一個集成的機器人處理單元,可幫助自動化工作負載,使其能夠快速高效地處理各種材料。機器由機器和機械手兩部分組成，安裝在單個平臺上，以提高剛度和精度。該機由PLC控制，由主軸和拋光臺兩部分組成。主軸配有高精度編碼器，用於精確定位和運行研磨過程。拋光臺由多個帶凹槽的布圈組成，並以恒定的速度旋轉以實現均勻拋光。它利用真空工具在加工過程中將晶片固定到位。機械手是一種計算機控制的機械臂，用於為加工過程拾取和放置零件。它由一個6軸鉸接臂，以及一個可以檢測晶圓位置和方向的集成視覺資產組成。此模型允許對組件進行極其精確的高速處理,並消除與手動流程相關的任何人為錯誤。K62旨在與客戶的現有系統完全集成,並提供多種功能以確保高效和準確的流程。這些功能包括數字化流程監控設備、高級流程控制系統和在線流程控制軟件。該單元提供最高級別的自動化、精確度和可靠性,使其用戶能夠產生高度準確和一致的結果。