二手 KO LEE S714H #9137727 待售
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KO LEE S714H是一種精密晶圓研磨、研磨、拋光設備,專為中小批量生產應用而設計。該系統提供了高科技處理中可實現的最高質量和可重復性。S714H有一個兩件式不銹鋼真空工作臺和兩個精密頭,以適應各種晶圓尺寸。該表易於調節,以適應各種不斷變化的研磨和研磨平面偏移的應用。設備的控件和軟件允許使用非常廣泛的晶圓尺寸,直徑不超過6英寸。KO LEE S714H提供的研磨金剛石工具質量最高。這些特殊的工具設計了小金剛石顆粒,以確保您的特定應用程序的最高級別的過程可重復性。對金剛石工具進行了測試和設計,使基板的汙染最小,表面粗糙度最小。還設計了這些工具,以確保低熱膨脹系數,以便在使用S714H時具有更高的可靠性。磨削和研磨工具可以使用獲得專利的工具就地加載工藝預先加載到磨頭中。這一過程確保金剛石磨料在研磨和研磨循環期間與晶片保持精確對齊,並自動補償基材中的任何缺陷。KO LEE S714H具有自索引刀具加載機,可確保過程參數的可重復性和一致性。研磨和研磨循環由強大的板載微處理器控制。這個微處理器監視整個過程周期的晶圓速度和刀具旋轉速度。通過在用戶友好的圖形界面上觸摸按鈕,可以輕松調整或修改設置。S714H配有超響應拋光頭,可覆蓋直徑不超過6英寸的任何晶圓區域。此功能包括一個浮動和補償工作頭,它會將自身模壓到晶片中的任何缺陷,從而使晶片表面均勻拋光。拋光頭的高響應性保證了每個晶片和每個拋光周期的優越效果。KO LEE S714H是一個工程奇跡,旨在提供具有中低批量生產應用的最高精度工藝。這臺功能強大的機器是晶圓研磨、研磨、拋光的可靠、經濟高效的解決方案。它提供一致的結果,並提供盡可能最佳的結果。
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