二手 KOYO R631DF #9282444 待售

KOYO R631DF是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於精密加工各種硬質材料。該系統采用模塊化設計，能夠執行多項任務，如基板清潔、研磨、研磨、拋光和先進半導體生產所需的其他操作。它由精密電動機編碼器和模塊驅動,用於控制速度,從而確保晶圓的長度和寬度具有最佳的表面光潔度和精度。這使得它特別適合於超精密加工操作。該裝置配有一次性板墊，用於防止不同材料之間的交叉汙染，同時進行研磨和拋光操作。它有一個集成的冷卻機，以保持溫度均勻性，減少成品晶片的翹曲。空氣軸承主軸的設計提供超平滑操作超精密表面處理。主軸直接驅動，慣性低，精度高。此外，它還有一個先進的計算機化監測工具，可以與自動化過程控制算法相結合，以提高生產率。資產具有在線流程測量功能,可實時評估性能並實現快速流程調整。實時監控功能還確保按照預定的均勻性和精度規範對晶片進行一致處理。為進一步提高其性能，該模型具有獨特的多軸機器人，可用於載荷和卸載晶片，並自動將晶片定位在最優位置。該設備的設計是為了加強安全，所有操作控制措施均得到保護，以防未經授權的人員進入。總體而言,R631DF是一個精確、靈活和用戶友好的解決方案,適用於需要快速、準確和可靠的晶圓研磨、研磨和拋光操作的半導體制造商。