二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS SABRE 3D #293615348 待售
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已售出
ID: 293615348
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Plating system, 12"
(2) Load ports
(4) Process chambers
Copper layer
Missing parts
2011 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE 3D是一種最先進的晶圓研磨、研磨拋光系統。NOVELLUS SABRE 3D專為廣泛的應用而設計,從一般用途的要求一直到最先進的半導體器件制造。它為ISO和精細表面光潔度操作提供了高精度和可重復性。LAM RESEARCH SABRE 3D利用多項創新技術提供卓越的性能。它的單個主軸和電機提供了無與倫比的可重復性、準確性和動態響應。其集成的夾緊系統和自動化的衛生程序保證零件的安全,同時提供卓越的研磨效果。為了進一步優化工藝時間,SABRE 3D利用高精度光學刀具單元,幫助確保零件和刀具正確對齊。LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE 3D具有多種功能,可解決刀具和零件磨損問題。其先進的陶瓷塗層保證了砂輪的耐用性和耐磨性。其可調真空系統有助於延長刀具壽命,而內置傳感器檢測刀具變化和空氣軸承調整,使每個刀具能夠以更理想的速度運行。NOVELLUS SABRE 3D是精密晶圓研磨、研磨、拋光必不可少的設備。它具有直觀的控制和多維用戶界面,可全面控制研磨、研磨、拋光和動態安全參數。此外,它的內置診斷程序可以快速識別和解決錯誤。此外,LAM RESEARCH SABRE 3D充分利用LAMNOVELLUS CNC控制系統,提供過程優化和控制,並輕松集成到客戶的環境中。SABRE 3D代表晶圓研磨、研磨、拋光的最高性能。其獨特的技術提供了無與倫比的準確性和可重復性,同時能夠快速優化每個應用程序的過程參數。LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE 3D具有創新的設計和最先進的功能,是實現完美表面光潔度而又不影響質量或安全性的理想工具。
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