二手 LAPMASTER 36 #293759817 待售

ID: 293759817
Lapping system.
LAPMASTER 36是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於在半導體晶圓上產生高精度的平坦表面。該系統配備了可靠、高性能的洗滌頭,能夠實現超精密表面光潔度、線緣粗糙度和原子層沈積和電化學沈積的Cpk值。該裝置采用交流伺服電機驅動的高精度主軸,能夠實現高切削和圈速同心度,以及高扭矩速度控制。此外,該機具有可調節的磨頭、先進的晶片裝卸工具以及用於增強芯片去除的精密控制吸氣。36配備了方便用戶的界面,方便操作和參數設置。通過界面,用戶可以控制研磨和研磨過程,以及調整X、Y、Z方向和調整欲望晶片厚度。該界面還可以方便地顯示研磨、研磨和拋光過程結果,並提供多種數據記錄和輸出格式。借助一個可調的工藝周期,資產可以根據用戶的具體需要調整研磨速度、頭部位置、通過次數、進給速率和所需的力。LAPMASTER 36除了用戶友好的操作外,重量輕、便於攜帶,非常適合許多半導體晶圓研磨、研磨和拋光應用。該模型采用高精度、可調角度光學顯微鏡,便於觀察晶圓研磨和研磨結果。另外,36個由三級吸氣端效應器組成,用於優化芯片的去除和工藝控制。此外,該設備還配備了一個堅固的真空系統,旨在最大限度地去除材料,以及一個自動化的、可調節溫度的研磨/拋光端效應器,旨在生產出優質、超光滑的晶片表面。LAPMASTER 36還提供了先進的降噪功能,旨在確保精確、無噪音的操作和改進的質量控制。這個先進的單元能夠為各種應用產生精確的表面特征、平坦度、平行性、線緣粗糙度和Cpk值。
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