二手 LAPMASTER 36 #9274730 待售

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LAPMASTER 36
已售出
ID: 9274730
Lapping system.
LAPMASTER 36是一款綜合性晶圓研磨、研磨、拋光設備,旨在滿足先進設備IC制造商的需求。36以其獨特的先進技術組合,能夠在大多數晶圓類型上實現精確的平面化和平坦度精度。LAPMASTER 36的核心是其專屬的研磨/研磨/拋光頭,由三個由獨立主軸電機操作的集成頭組成。頭頂有一塊花崗巖板,一個輪廓平整的板材穿過。中下兩頭裝有棉質研磨膜,研磨、研磨和拋光晶片。上下兩端可獨立上下移動,以調整施加在晶片上的壓力。36具有高速可變驅動電機,能夠提供出色的研磨/研磨/拋光性能,而不會產生過熱或損壞現有晶圓結構。LAPMASTER 36包括幾個安全功能,例如E-STOP功能,如果正在執行的過程變得不安全,該功能將使機器立即停止。此外,系統會自動檢測晶片加載錯誤的時間,並防止在正確加載之前對其進行處理。該模塊包括幾個自動化功能,包括配方存儲、實時機器狀態監控和運行到完整的功能。這使用戶可以方便地編程和監視與每一種晶片關聯的過程步驟,如壓力設置、壓板速度和使用的研磨膜。36的先進控制單元便於連續流動操作,非常適合大批量生產設施。此外,機器提供的高級集成和控制允許輕松監控過程性能,幫助在出現問題時立即發現問題。綜上所述,LAPMASTER 36的先進功能使其成為希望在晶片上達到最高水平的平面化和平坦度精度的設備制造商的理想選擇。它結合了先進的技術、安全功能和自動化功能,是在一系列晶圓類型上提供一致準確結果的理想選擇。
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