二手 LAPMASTER 36B #9216461 待售
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LAPMASTER 36B是一種專利晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在為任何基材提供卓越的平面化和圓度效果。借助一套強大的功能和獲得專利的驅動器技術,該設備可以快速處理各種尺寸和形狀(從2英寸到8英寸以外)的晶片,並具有最佳的材料去除和平整度。該單元獨特的設計采用了統一的空氣軸承研磨金剛石心軸和工作固定器裝配,從而簡化了工作流程並提高了與傳統手動流程的一致性。可以以5˚增量索引工作持有者,以支持多個過程,而重力進料和反壓力使材料保持在適當位置。高功率驅動系統可實現精確的速度、位置和加速度控制,提供6000rpm的最大速度。帶爪離合器的固定比率直驅消除了較大的負加速度,從而改進了晶圓面的跟蹤和最終產品的均勻性。36B還具有由皮帶或直接驅動馬達驅動、以往復運動或旋轉運動方式移動的精確伺服控制板。這使得實現精確對稱研磨以支持高質量的TTV水平成為可能。此外,該裝置還具有高效的空氣冷卻裝置,可確保研磨板的溫度和磨損速率均勻,增加材料的去除和可重復性。該單元提供了一系列的精磨和磨削選項。其中包括用於降低RMS表面粗糙度的獨特RaMax™板、用於高通量處理的多通道並行拋光臺,以及用於銳化和磨削的專用工作支架。LAPMASTER 36B為晶圓研磨、研磨和拋光提供了一個強大、精確和高效的解決方案,在所有基材材料中均可獲得一致的結果。無論是獨立使用還是作為完整加工機的一部分,該單元都有助於簡化要求苛刻的操作,為生產線帶來更好的質量控制。
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