二手 LAPMASTER 48 #9203948 待售

LAPMASTER 48是一種最先進的自動化晶片研磨、研磨和拋光設備，專為各種晶片制造工藝的全系列而設計。該系統采用模塊化設計,這意味著可以根據不同的尺寸要求輕松配置組件,從微觀的超薄Si層（<20um）到直徑可達300 mm的超厚基板。核心結構由一個垂直加工頭組件組成，該組件由一個專利固定主軸與精密電動機耦合而成，以及一個可以在高度和傾斜度上進行調整以滿足精密晶圓研磨和拋光需要的多軸自動運動單元。支撐的研磨/拋光系統有一個高級電動主軸電動機，可產生高達20,000 RPM，精度為+/-2 μ m。對連接的金剛石研磨盤進行精密控制，以實現晶圓到晶圓的最佳可重復性。晶圓研磨、研磨和拋光機還提供了一個獨特的芯片控制器，以高效、準確和安全的操作工具。它被編程為顯著縮短機器的設置時間和最小的操作員交互。模塊化結構還可以靈活地結合其他組件,如循環冷卻資產、真空過濾器、空氣過濾器鼓風機、光束診斷和其他定制組件,以滿足特定的應用需求。該型號還配備了精密的軟件，方便設備的設置和操作。它支持直觀的圖形用戶界面（GUI）,可指導用戶完成安裝和操作過程。該系統還提供了一個全面的控制程序庫，用於準確和可重復的操作。最後，48是一個先進的，高性能的晶圓研磨，研磨和拋光單元設計，以滿足最苛刻的應用的需求。它配置性強,具有卓越的精度和可重復性,非常適合半導體器件制造、光學/光電拋光和光學薄膜生產等應用。