二手 LAPMASTER 600/2 #9300180 待售

LAPMASTER 600/2是一種晶圓研磨、研磨和拋光系統，旨在實現半導體行業晶圓的優越平整度和光潔度。LAPMASTER 600/2系統可分三個階段在晶圓研磨、膝部研磨和拋光過程中提供卓越的性能,能夠處理200 mm和300 mm晶圓。集成系統使用PLC控制的研磨主軸啟動研磨過程,在該主軸上固定工件,在Y軸上進行研磨。主軸由交流伺服電動機驅動，通過變頻器進行監控和控制，以達到優越的平整度。磨削主軸能夠在低速下進料，具有良好的受力控制，使磨削保持一致和均勻。第二階段的圈速和拋光過程在精密研磨臺上進行。這樣可以使表面平面性、平行性和光潔度達到非常嚴格的公差。利用專門配制的晶圓與桌子之間的石對石接觸。該表由交流伺服馬達驅動，由變頻器監控和控制。這些主軸又連接到伺服電動機，從而實現高效的速度控制，保證精度和可重復性。過程的最後階段是拋光過程，由壓力對力控制器控制。拋光板由交流伺服電動機供電，並由變頻器監控和控制，以便為受力壓力設定預先編程的參數。LAPMASTER 600/2配備了觸摸屏界面，允許在研磨、研磨、拋光過程中輕松操作和參數設置。LAPMASTER 600/2在一個系列中提供無與倫比的零件尺寸精度和準確性。LAPMASTER 600/2結合了卓越的性能、控制和監控功能,對於要求最苛刻的晶圓研磨、研磨和拋光工藝而言,是一種極其可靠且經濟高效的解決方案。