二手 LAPMASTER LSP-6 #293810738 待售
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LAPMASTER LSP-6是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於可靠生產和加工最具挑戰性的光伏、半導體、光電等技術級基板。它比現有系統具有顯著的技術進步,使其用戶能夠快速準確地實現光刻成像和設備處理。該系統采用單軸多軸機械臂,可在多個工作站之間快速移動晶圓磨削工具。這允許用戶對單個晶片按順序進行多次表面研磨操作,有效地削減了每次操作所需的時間。此外,機械臂可實現高度精確的研磨操作,並確保晶片的精確可重復性,其精度在人工系統中是不可行的。該單元還擁有一個高速研磨站,設計用於處理非常薄的基板。此階段可確保高速和高精度的有效研磨。內部運動監測機確保研磨板的強度和運動在整個過程中是一致的,允許一致的結果。該工具的最後階段是一個拋光站,旨在確保最終的,最高質量的光潔度到基板。拋光站具有先進的介質分配資產,允許用戶根據其要求調整介質的大小和流量。該型號還設有再循環設備,允許用戶在整個拋光過程中實現低周期時間和一致的高精度。當與LAPMASTER系列的互補組件結合使用時,LSP-6為加工和生產各種先進基板提供了全面、高效和經濟高效的解決方案。其先進的功能和用戶友好的設計使用戶能夠體驗到幾乎毫不費力的高精度研磨、研磨和拋光工藝。
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