二手 LECO 851-100 #9090597 待售

ID: 9090597
Automatic polisher 480 V, 3 Phase, 15 A.
LECO 851-100是一款全自動晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在滿足當今半導體行業要求最苛刻的工藝工程師的高度期望。該系統在半導體和其他元件的超光滑拋光方面提供了最高水平的精度和精確度。該裝置有晶圓研磨機和拋光機兩個主要部件。晶圓研磨機能夠在一個步驟中精確地磨碎大部分表面。它使用精密控制的激光器對晶片表面進行平整,使磨削在其整個直徑上均勻。研磨機配有計算機控制的3軸直線輸送機,確保每個晶片的研磨寬度均勻。研磨機精密的研磨和平整的表面,消除了對後加工研磨的需要。然後使用拋光器在晶片上固定所需的表面質量。利用重型精密測試儀定位拋光表面,獲得理想的拋光接觸壓力。拋光器還具有一個三軸機器人頭能夠精確控制拋光運動。拋光器還能夠持續監測接觸壓力,從而能夠在晶圓的整個表面施加一致的拋光力。這樣可以確保晶片的表面均勻、一致地拋光。851-100還具有易於使用的人機界面(HMI),提供對所有工具功能的直觀控制。該資產便於操作和模型優化,同時提供所有必要的數據記錄和分析功能,以實現可靠的過程監視和控制。集成的實時過程監控顯示允許快速調整研磨參數以確保過程穩定性。總體而言,LECO 851-100是半導體行業必不可少的工具,可快速、經濟高效地提供精確、均勻拋光的半導體組件。這款高性能設備在設計時考慮到了安全性和準確性,無需密集的手動研磨和拋光,同時減少了操作成本和時間。
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