二手 LECO PR-10 #293620358 待售

LECO PR-10晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種多功能表面整理系統，設計用於半導體和光電工業。PR-10采用先進的雙主軸電機設計，對晶圓表面進行精確研磨和拋光，並對所有表面參數進行精確控制。LECO PR-10單元包括一個集成控制器，便於操作和各種工藝參數的精確控制。它包括精密主軸電機、多軸運動控制機，以及用於精密、可重復、精密研磨拋光的手動和自動系統。PR-10還具有數據采集工具，用戶可以實時準確監控晶圓的表面特性。LECO PR-10利用先進的高分辨率磨削和拋光設備，能夠生產出極精細的成品表面。這是通過利用專用的高精度研磨/拋光電動機實現的，該電動機能夠以0.05微米的精度在主軸上3000-200000 RPM轉速範圍。PR-10使用各種研磨/拋光工具，如金剛石和磨料、金剛石研磨板和金剛石皮帶。LECO PR-10還包括用於有效散熱和冷卻研磨/拋光過程的集成冷卻模型。PR-10配有多個工作站，以便高效運行，並允許同時進行多次研磨/拋光過程。理想情況下,LECO PR-10用於晶圓和其他元件的精加工。精密研磨和拋光在半導體工業中用於制備用於後處理的表面。已與PR-10設備接地的晶片通常不需要進一步拋光,並且可以組裝成元件。該系統可確保精確和可重復拋光,並允許精確的輪廓控制。LECO PR-10是精密表面研磨和拋光的可靠、高性能、經濟高效的選擇。