二手 LECO Spectrum 2000 #9328697 待售

LECO Spectrum 2000是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在為各種晶圓尺寸提供高通量和精密處理能力。該系統具有多項功能,旨在提供高質量、安全、易於使用和可靠的工藝,以便在晶圓上產生精細表面光潔度,包括內置的工藝優化功能。它的設計堅固而輕巧，設計為單次提供最佳性能，Spectrum 2000單元的主要特點包括一次最多可容納兩個晶片的旋轉吸盤， 確保一個一致的均勻研磨和一個無觸摸的主軸去除灰塵， 晶圓表面的汙垢和其他汙染物。它采用了高達4500 RPM的固定主軸速度與數字伺服驅動機器，使精確的速度控制。該工具還包括一個雙工作站，其特點是可調節的空氣臺，帶除塵器的不銹鋼引擎蓋和氣體輔助雙窗扇。這種雙窗扇可確保在同一晶片上進行研磨和拋光而不會汙染表面或工藝的封閉資產。該模型能夠使用一系列磨料進行幹法和濕法加工。該設備由LECO獲得專利的Trifide ESR技術提供動力，該技術允許控制、逐步控制處理。這種先進的技術可以保護晶片免受有害的環境影響,同時確保保持準確的功率和速度以提高產量,從而優化工藝。該系統具有高能效,旨在減少流程時間並提高流程質量和吞吐量。它的高級功能旨在將維護和維修成本降至最低,同時確保工藝條件保持一致和最佳。LECO Spectrum 2000是一個工業級的單元，為晶圓研磨、研磨和拋光提供卓越的性能。它是半導體晶片稀釋和晶片清潔等應用以及其他精密晶片處理應用的理想選擇。