二手 LECO VP-50 #9124553 待售

LECO VP-50是為半導體、MEMS和光電工業的高精度晶圓級工藝設計的最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統設計精確度和速度與大主軸電機產生強大的研磨力在晶片上，而真空卡盤防止晶片在過程中移動。VP-50還確保了精確和可重復的研磨結果,預編程計算機控制的可變進料速率和大約550金剛石砂礫尺寸。該單元在拋光過程中也非常精確,采用一步、高精度和全自動的表面研磨和拋光工藝,尺寸可達200 mm。本機配有用於拋光工藝的標準50mm石墨墊板、用於加工水的自底漆泵和用於拋光過程中金剛石漿料完美應用控制的頂置金剛石漿料輸送泵。LECO VP-50也因快速的粗磨和高達40 rpm的拋光速度而擁有較短的周期時間。該工具還配備了用戶友好的HMI（人機界面），能夠直接設置所有資產參數。操作過程中提供了智能報警消息,以告知具有流程狀態的操作員,確保流程平穩高效地運行,結果滿足較高的晶圓要求。VP-50晶片研磨、研磨和拋光模型設計用於晶片級工藝的高精度結果和可靠的循環時間。這種設備可以產生精確到大約550金剛石砂礫大小的結果，具有自動化的單步工藝和可變的進料速率，用於精確研磨。該系統還配備了HMI、石墨墊和自底漆泵，讓操作員輕松設置工藝參數，從頭到尾監控工藝。