二手 LOGITECH 1CM51-CDP #9379071 待售
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LOGITECH 1CM51-CDP晶片研磨、研磨和拋光設備是一種自動化的計算機控制拋光系統,旨在提供高精度和低缺陷晶片表面精度。該設備采用最新的自動化技術進行設計,可實現最高的吞吐量和最可靠的性能。該機采用三軸龍門機器人,由高性能伺服電動機驅動,在X、Y、Z軸上提供精確、可重復、精確的運動。龍門機器人能夠移動和操縱直徑達800毫米的晶片,利用雙級晶片支撐工具提供高精度和重復性。該資產還利用基於視覺的最先進的對準模型進行精確的晶圓定位和機器人工具路徑精度。1CM51-CDP是一個完全封閉的設備,具有集成的過程和診斷監測和控制。該系統能夠進行單面或雙面研磨、研磨和拋光操作。研磨是通過使用單面銷釘安裝的金剛石輪來完成的,而研磨則是在專門設計的雙面研磨板上進行。該單元具有小於1.0納米的表面粗糙度(Ra)光潔度,可以產生晶圓表面缺陷的自由結果。此外,機器在晶片內產生低殘余應力,使其成為廣泛應用和基材的理想選擇。該工具支持多種晶圓材料,包括但不限於Silicon、Sapphire、Quartz和Gallium Arsenide。該資產是為安全、高效、低維護運行而設計的。該型號還配備了一系列運動和安全系統的綜合安全聯鎖設備,以及一個伺服驅動的外殼,以確保系統和操作員的安全。LOGITECH 1CM51-CDP晶片研磨、研磨和拋光裝置是一種高度通用和可靠的解決方案,可實現精確、精確且無缺陷的晶片表面。該機先進的控制和處理能力,加上強大可靠的伺服驅動運動系統,使其成為那些尋找高性能、經濟的工具來加工各種晶圓材料和基材的人的理想選擇。
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