二手 LOGITECH PM2 #9223573 待售

LOGITECH PM2是專門為大規模生產而設計的晶圓研磨、研磨和拋光系統。通過在批處理和串聯配置中易於使用的閉環過程,它提供了較高的工作效率和靈活性。LOGITECH PM 2廣泛應用於半導體工業中，用於研磨、研磨和拋光任何尺寸和厚度的扁平晶片。它可以同時處理矽和藍寶石基板，並且可以與其他晶圓加工設備集成。PM2使用A3-sized夾緊板，允許調整和擰緊各種尺寸和形狀的夾具。這使得用戶可以輕松設置並快速啟動研磨過程。夾具固定後,直流水平步進電機接合以旋轉壓在晶片上的扁平磨石。此操作在整個晶片上產生均勻的研磨效果。除水平電動機外，還采用可編程驅動平臺對石材進行精確旋轉。這是通過在將磨石壓在基板上時以預設速度向上驅動板來實現的。可調整驅動平臺電動機的速度，以達到最佳性能，確保均勻研磨。此外，PM 2利用磨料磨石來最小化或避免損壞晶片邊緣的風險。LOGITECH PM2還配備了兩個用於研磨晶片邊緣的金剛石研磨工具。這些工具由兩個金剛石圈組成，一個帶有平坦表面，另一個帶有圓形表面。這兩圈的位置使它們可以自由地穿過晶圓邊緣,使其拋光。平坦的圈子用來去除任何毛刺，圓形的圈子用來給晶片邊緣一個光滑的光潔度。LOGITECH PM 2還包括兩種拋光拋光劑，每種拋光劑使用水冷、高度彎曲、滾花磨料拋光工具。這些拋光工具清潔和拋光整個晶片表面，使其光滑均勻。PM2還包括自己的原位激光分析系統，該系統集成到機器本身中。該系統在過程中測量晶片的厚度和幾何形狀，以確保保持精確公差。PM 2是在批量和串聯配置中研磨、圈合和拋光任何大小和類型的晶片的可靠而有效的方法。其堅固的結構和廣泛的功能使其成為大批量生產環境的理想選擇。精密的工藝控制和精密的研磨，是任何晶圓加工任務的理想解決方案。