二手 LOGITECH PM5 #293630266 待售

LOGITECH PM5是一種自動化晶圓研磨、研磨拋光設備,用於半導體晶圓的加工.該系統高效，專為滿足磨削、研磨、拋光等耦合工藝的苛刻要求而設計。該機配備300毫米或450毫米自動雙面研磨單元以及300毫米或450毫米單面拋光室。它有一個冷卻控制閥和一個真空卡盤，用於高效的精磨和拋光。另外，機器可以對不同厚度的晶片執行雙腔研磨工藝。此外，靈活的自動化單元允許多任務處理和集成其他處理步驟。機器的心臟由幾個部件組成，包括一個精密驅動機器和一個磨削/拋光單元，它們被同步以提供出色的表面光潔度。磨削/拋光裝置配有兩個金剛石頭，由兩個可編程的頻率電動機獨立驅動，以提供精確和均勻的結果。金剛石頭以4000/5000 rpm旋轉，產生近乎完美的球面光潔度。這臺機器還配備了先進的傳感器和直觀的用戶界面，可以方便地設置參數。它還提供了一些安全功能,例如緊急停止按鈕、壓碎保護和中央單元,該單元可不斷監控機器的性能並生成詳細的審計報告。綜上所述，LOGITECH PM 5晶圓磨削、研磨拋光刀具是一種高效、先進的CMP機器，專為生產級吞吐量而設計。它易於使用的用戶界面和詳細的審計報告允許精確和均勻的表面光潔度。其靈活的自動化資產允許集成多個處理步驟，使其適合各種應用。