二手 LOGITECH PM5 #9206610 待售
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已售出
ID: 9206610
Lapper / Polisher
Includes:
VS2 Vacuum system with tubing and frame
EDWARDS Speedivac vacuum pump
LOGITECH PP5 Polishing jig with vacuum chuck + jig stand
Slurry barrel
Slurry chute
Roller arm
30 cm Stainless steel polishing plate
30 cm Cast iron lapping plate grooved
126 mm Cast iron test block
Manual for PM5 & jig
Added accessories:
Lapping/polishing powders
(5) Tubs
Various levels of fill
Sizes includes:
0.05 um, 0.3 um Ultra fine aluminum oxide
3 um Calcined aluminum oxide
Silicon carbide powder (x2)
Lapping/polishing cloths/misc.
LOGITECH PM5是一種自動化的多功能晶圓研磨、研磨和拋光設備。該創新系統旨在為晶圓研磨和拋光提供與手動系統質量相同的快速循環時間,並提供研究和產品開發所需的精確、可編程和可重復的過程。LOGITECH PM 5采用精密刀具主軸、動態拉伸單元和可調節的角度橫移,為磨削、研磨和拋光直徑不超過8英寸的晶片提供了非凡的能力。此功能有助於降低實際生產過程中每個晶片的成本。這臺機器采用獨一無二的循環儀驅動和精確運動控制相結合,可達到高達5,000 rpm的速度,能夠產生超過手動系統所能達到的精度和可重復性。PM5還設有一個集成測量站,允許現場完成過程控制驗證(PCV)。這是用高分辨率數碼相機完成的,它能夠捕獲晶圓地形測量過程前後的圖像,以及對Grind和Lap變形的實時分析。此功能為過程參數和產品優化提供了強大的反饋。PM 5能夠處理範圍廣泛的材料尺寸和類型,也能夠拋光多種類型的材料,具有各種各樣的漿料組合。此外,該機器還能夠容納一系列磨料,包括多晶金剛石(PCD)、金剛石和cBN。該工具還配備了定制的用戶界面,允許在機器設置和操作中完全控制。LOGITECH PM5結構堅固、操作精密、功能創新,是晶圓生產需要(包括計量、研發過程)的理想選擇。自動晶片研磨、研磨和拋光資產提供快速、精確的晶片處理,具有可重復的精度,同時保持晶片的最高質量。
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