二手 LOGITECH PM5 #9396066 待售

LOGITECH PM5是一種用於精密半導體晶圓制備的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它能夠以極高的精度自動制備小晶片的表面.LOGITECH PM 5利用金剛石磨削、拋光技術等先進技術，提供優越的晶圓效果。該系統由磨料輪頭單元和拋光頭兩個主要部件組成。磨料輪頭利用金剛石磨削技術，精確地勾勒出晶圓表面的輪廓。磨料輪頭的設計采用高精度調平單元，可重復編程參數包括壓力、速度和切割深度。這臺機器可以有效地支持各種晶圓尺寸和其他形狀。磨料輪頭使用的磨料輪采用專用的「最後一步」廢物減少法進行精細結構磨削和拋光。此外，PM5還配備了拋光頭，利用金剛石研磨技術提高晶圓表面光潔度。拋光頭設計為利用「一次性」拋光工藝，將金剛石顆粒從晶圓表面拉走，並留在後面，以便在車輪移除前進行額外拋光。這款拋光頭還配備了雙層破壞工具，利用三個階段的破壞來提供精確的表面輪廓整理。PM 5配備了精密的軟件控制工具，專為晶圓研磨應用而設計。該軟件提供了一個易於使用的界面，用於設置和調整研磨參數，以及提供一個監測過程有效性的平臺。LOGITECH PM5專為高效晶片加工而設計，能夠生產厚度達5mm的晶片。它還設計了包括緊急關閉、溫度控制和低壓限制在內的安全功能。LOGITECH PM 5適用於多種晶圓處理應用，包括翻轉晶片製造、3D IC封裝、微電子。它體積小巧，性能優越，是各種晶圓研磨、研磨和拋光工藝的理想選擇。