二手 LOH RF 3A #77401 待售

LOH RF 3A是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光（WGPL）設備。這種高度通用的加工系統集成了磨削和拋光功能,允許晶圓的多個加工過程。RF 3A具有獨特的架構,可容納直徑不超過8英寸的3英寸和4英寸晶圓。它由強大的機器人工具更換器提供動力，可以處理各種各樣的磨削和拋光輪。LOH RF 3A單元采用高精度掃描儀、運動控制機和機器人IO模塊設計。掃描儀精確檢測晶片的位置，並執行過程中的檢查。它帶有一個內置的晶圓配方庫，使其能夠可靠地加工具有不同設置的不同晶圓。運動控制工具在定位、研磨和拋光操作方面具有較高的速度和精度。機器人IO模塊提供了對所有加工參數的精確和可重復的控制。RF 3A具有內置冷卻器,可在加工區域內保持溫度。LOH RF 3A是為高質量和可重復性能而設計的。它可以給晶片留下非常平坦光滑的表面光潔度。機器高度自動化，能夠在一個會話中處理多個晶片。它是高度可配置的,允許多個加工操作和過程。資產由功能強大的基於計算機的流程控制器運行，在設置和參數上提供高度的靈活性。此外,RF3A設計具有最可靠的安全特性。它采用安全聯鎖和其他安全功能，確保機器的安全和正常運行。該型號與機械、電氣和射頻兼容，適合各種晶圓應用。LOH RF 3A帶有簡單直觀的接口和設置，使操作員能夠針對不同的過程快速高效地設置機器。總體而言，RF3A是一種功能強大且可靠的WGPL設備，專門為晶圓的加工而設計。其精密掃描和運動控制系統、機器人刀具更換器和自動化過程提供了可重復和高質量的加工結果。LOH RF 3A配置性強，可用於各種晶圓的多次加工過程。