二手 LOH Toro-X-1000 #9047153 待售

LOH Toro-X-1000是由LOH Advanced Technic制造的晶圓研磨、研磨和拋光設備，在半導體行業中非常適合晶圓級後切塊。該系統具有電子控制級和研磨級,可輕松處理直徑從3英寸（76.2mm）到6英寸（152.4mm）的晶片。Toro-X-1000配備了自動研磨研磨控制裝置、溫度控制機、氣泡清洗工具和壓力控制資產。模型結構由電子控制級、氣線設備和研磨級組成。電子控制級包括PC控制單元、步進電機控制、水冷系統和校準電路。PC控制單元用於晶圓直徑設置和車輪功率設置等設置操作,以及對研磨質量的控制。步進電機控制用於在磨削過程中保持恒定的車輪速度。水冷卻器用於冷卻砂輪，防止砂輪過熱，而校準電路確保研磨過程中的精度。LOH Toro-X-1000刀具的氣管機將壓縮空氣從鼓風機泵入研磨階段，產生氣流到研磨表面。這種氣流有助於冷卻研磨表面並消散過程中產生的熱量。磨削階段包含磨杯架、磨輪和保護晶片免受磨削過程造成的沖擊力的屏蔽。磨輪通常采用金剛石鍍層，其尺寸因晶片類型而異。Toro-X-1000資產的研磨過程包括主要的研磨動作，然後是研磨和拋光階段。主要研磨動作切入晶圓的薄層，形成研磨拋光的起點。在研磨階段，機器由兩個車輪組成，兩個車輪以相反的方向移動，使晶片表面旋轉。在拋光階段，一個帶有金剛石顆粒的旋轉拋光墊對晶片表面進行拋光，以增加均勻的光潔度。簡而言之，LOH Toro-X-1000是一種精密的晶圓研磨、研磨和拋光模型，設計用於加工多達6英寸的晶圓。它具有全面的電子控制階段、砂輪和空氣管線設備，在研磨、研磨和拋光階段提供精確的控制和保護。該系統的高科技特點使其非常適合半導體行業的後期切割。