二手 LOH UFM #55544 待售

LOH UFM是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，旨在滿足半導體行業的需求。它能夠生產平坦、高質量、精密的半導體晶片，表面粗糙度值從5到12Aa不等，同時利用低成本和短工藝時間。它具有三軸計算機數控（CNC）和集成傳感器,可對各種半導體材料進行精確的研磨、研磨和拋光。UFM的核心是一個強大的研磨主軸，轉速高達10,000 rpm，精度為0.05 μ m。這種主軸能夠磨削低至.2 μ米的表面粗糙度，即使在最復雜的應用中也能提供優異的效果。此外，這種研磨主軸還包括內置的保持工作裝置，以獲得更高的精度和便利。該系統還包括一對上下研磨臺，用於研磨玻璃和矽片。研磨臺設有內置的空氣淋浴，可以提供最佳效果。空氣淋浴可以使晶片在磨合時保持原位，從而提高每個晶片的精度和精確度。拋光工藝在專用拋光機上進行,該拋光機采用兩軸CNC拋光臺,旋轉速度高達8,000 rpm。這款拋光臺設計用於均勻地圈合、拋光和完成晶片，產生精密度為0.10 µm的完美表面。最後，該裝置包括一個全自動的薄膜沈積站，將一層聚合物薄膜沈積在晶圓表面上。這種薄膜提供了一個均勻、光滑的表面，產生了一個完美平坦、光滑且粗糙度非常低的晶片。總之，LOH UFM是一種功能強大、精密的晶圓研磨研磨拋光機，非常適合半導體行業。憑借其強大的研磨主軸、精密的空氣淋浴以及功能齊全的數控拋光臺，該工具能夠以最短的時間和成本生產出平坦、優質的晶片。