二手 LOH / WETZLAR R-F1 #9161353 待售

LOH/WETZLAR R-F1是一種全自動晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計達到半導體行業的高質量要求。它能夠在完全自動化的模式下運行,而操作員的幹預最少,從而實現高吞吐量和提高效率。LOH R-F1系統有一個空氣軸承主軸，可以調整軸向和徑向跳動。這由兩臺步進電機進一步支撐，提供了最大的控制和精度，實現了優越的表面平整度。研磨頭可以鎖緊，以便快速、方便地更換磨料拋光墊，並且具有較大的旋轉角度範圍來處理不同厚度的晶片。研磨臂的獨特設計提供了穩定和可重復的效果，而氣動泥漿分布器和密封確保了準確和一致的化學應用。研磨、研磨和拋光過程均通過直觀易用的觸摸屏界面進行管理。這使設備能夠按照客戶規範進行精確配置。人性化的設計還允許批處理模式操作，操作員可以在其中設置多個程序進行重復序列。壓力、墊速等附加參數也可實時調節，優化工藝，提高吞吐量。WETZLAR R-F1使用先進的冷卻系統來確保最佳的表面光潔度和最小的樣品損壞。這包括所有滾筒上的冷卻套，以及先進的空氣冷凝器冷卻機。該工具還配備了PLC安全控制器和多項安全功能，包括超速和過溫保護，以確保操作員的保護和樣品的完整性。最後,R-F1實現了完整的流程可追蹤性,使所有生產流程都易於監控、跟蹤和控制。資產還允許完整的記錄保存和報告,提供有關可用於優化流程和產品質量的所有參數的信息。