二手 LOH X2SL #9277308 待售

LOH X2SL是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於產生高精度、高效率的結果。該系統由機器人子系統、金剛石研磨子系統、研磨子系統、拋光子系統和串聯檢測子系統組成。機器人子系統使用兩個獨立的、由機器人驅動的階段，這些階段被設計用來在研磨、研磨和拋光過程中準確、一致地移動大型晶片。這樣就消除了人為錯誤的風險，增加了晶圓生產的吞吐量。金剛石研磨子系統采用雙金剛石研磨輪精確研磨晶片。此子系統還包括傳感器和軟件,用於監控研磨過程和調整參數,以確保晶圓的邊緣磨碎到所需的規格。研磨子系統由幾個積極的研磨頭組成，旨在使晶片達到所需的平坦度。采用階梯式研磨工藝改善晶片表面光潔度，使其準備進行拋光。拋光子系統由兩個拋光頭組成，配置為將晶片拋光到光滑的表面。這是通過使用金剛石磨料漿料來光滑和拋光晶片來完成的。對漿料進行控制以獲得所需的表面光潔度，傳感器到位監測過程並相應調整拋光參數。串聯檢查子系統用於檢查晶片的精度和缺陷。這包括一個具有激光幹涉儀和掃描電子顯微鏡的視覺單元。視覺機用於分析晶片的大小、形狀和晶體取向，而激光幹涉儀則用於測量指示晶片質量的微妙特征。最後，掃描電子顯微鏡允許對晶片表面進行高度詳細的檢查。總體而言，X2SL工具是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，可產生高精度、高效的晶圓，幾乎不會出現人為錯誤。其各子系統無縫協同工作，提供苛刻行業所需的質量成果。