二手 METASERV 2000 #9212907 待售

ID: 9212907
Grinder polisher.
METASERV 2000是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於基板的精確表面制備,如半導體晶圓、SiC、Si3N4、光學玻璃和半導體玻璃。該系統由單軸研磨/研磨/拋光機、高速旋轉塗層和激光幹涉儀組成。研磨/研磨/拋光機包括一個精密主軸、磨盤切削頭和XY線性換能器,結合使用來精確定位和研磨、膝部和拋光尺寸和厚度不同的晶片。自旋塗層可以編程為控制晶片旋轉速度,使材料在晶片上均勻塗層。激光幹涉儀用於測試和評估應用,如測量研磨力、晶圓平坦度和其他特性。該單元包括高級運動控制,包括高分辨率、高精度線性換能器和X、Y、Z和theta軸的線性進給,以確保加工材料時的精確對準和精度。2000是一種高度模塊化的機器,可以很容易地用額外的組件進行升級,例如額外的主軸、額外的切削頭和XY換能器以及進給軸。它的總可控進料範圍高達20英寸,研磨/研磨/拋光精度為+/-0.00002英寸。該機器還包括一個用戶友好的軟件界面,在基於Windows的軟件中編程,保證易用性和可靠性。總之,METASERV 2000晶片研磨、研磨和拋光工具是精確制備半導體晶片、SiC、Si3N4或光學玻璃等表面的可靠和準確的資產。它由單軸研磨/研磨/拋光機、高速旋轉塗層和激光幹涉儀組成,以及精確的運動控制。它還具有易於使用的基於Windows的軟件界面,以增加便利性。
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