二手 MIROKU MLS-600-4 #9223163 待售

MIROKU MLS-600-4是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，一次操作即可加工直徑達600mm的晶圓。該系統由四個站組成，分別是磨粉站、研磨/研磨站、拋光站和清潔站。研磨站位於設備頂部,由一個轉速高達7000 rpm的砂輪組成。該站負責將晶片磨削到所需的厚度。使用水平移動的臂對晶片施加壓力,以確保達到所需的厚度。研磨/研磨站位於研磨站的下方,由一塊旋轉的研磨板組成,上面裝有介質輪。研磨板以0到1200 rpm的速度旋轉,而介質輪以向上向下的沖程移動,從而在晶片上產生研磨動作。這種研磨作用有助於去除晶圓表面殘留的碎屑，使其表面保持光滑。拋光站位於研磨站下方，由反旋轉拋光輪和靠背輪組成。拋光輪用於將晶片拋光至鏡面光潔度，而後輪則有助於保持晶片的圓度。拋光輪的轉速在0至3000 rpm之間,可調節以達到所需的表面光潔度。最後，清潔站位於機器底部，由一個自旋漂洗幹燥機組成。該站負責在拋光過程後清除晶片表面殘留的碎片，並配有離心提取工具，用於清除殘留的顆粒。總體而言，MLS-600-4是一種高效、精密的晶圓研磨、研磨和拋光資產，可加工直徑可達600毫米的晶圓，並具有研磨輪、研磨板、拋光輪、後輪和旋轉沖洗烘幹機等特點，以確保專業的表面光潔度。