二手 MITSUNAGA MFL-3B #9312849 待售

MITSUNAGA MFL-3B晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種全自動、高精度的系統，設計用於研磨、研磨和拋光半導體晶圓。它非常適合在具有多種光刻結構的晶片上生產高精度、均勻的表面,例如3D結構、超細線寬和不均勻表面形狀的平面化。該單元包括一臺工業強度主軸電機，可變速度高達30萬 rpm。這允許對半導體基板進行精確的研磨、研磨和拋光。該機還包括一個預冷器，以幫助減少生產過程中晶片的熱負荷，以及一個靈活的刀具更換器，以允許靈活的模具選項。磨輪和研磨板配備了自動缺陷檢測系統，以確保實現精確、均勻的表面。隔振臺確保了最佳的研磨條件，並消除了不必要的振動，以確保晶片表面的質量。為了提高表面平整度和減少毛刺形成的發生率，MFL-3B配備了速度剖面控制工具。該資產感應晶片表面速度的偏移，調節磨頭的速度以優化磨削性能，同時減少晶片磨損。為確保表面高度均勻,模型還配備了跟蹤設備,可自動跟蹤晶圓相對於磨輪或研磨板的方向。這樣可以確保重復研磨相同的表面元素,並在整個過程中保持晶圓的方向。該系統能夠自動控制整個過程，設計為在最小限度的人力監督下使用。它具有高級數據采集和報告功能,旨在集成到現有的計算機網絡中,以實現生產過程的完全自動化。MITSUNAGA MFL-3B是一種堅固、精確、通用、高效的晶圓研磨、研磨和拋光裝置，可用於在各種半導體晶圓上生產高質量的表面。