二手 MITSUNAGA MFL-4B-5S #9050571 待售

MITSUNAGA MFL-4B-5S是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備.用於將半導體基板等微電子元件磨削、搭接、拋光至優越的表面光潔度。該系統設計具有NC控制進給率單元等高精度特性，可用於多個晶片的精確平面研磨。此外,可編程磨頭旋轉控制機使磨削效果最佳,生產率高.該工具非常適合單晶片加工和批量生產。MFL-4B-5S由一個一次處理多達四個晶片的機器人手臂和一個位於中心的工作臺組成。機器人手臂具有緊湊輕巧的特殊形態，使其能夠在X軸上的耳朵和Y軸上的磨輪軸之間幾乎自由移動。這種靈活性允許機器人手臂適應各種需要較小基準位置的應用,如平面研磨、紙張拆卸和邊緣輪廓分析。工作臺由主軸、側軸、機器人臂三部分組成。主軸為變頻電動機，最大轉速8000 RPM，用於研磨和研磨過程。側主軸裝有獨特的變速空氣主軸電機，最高可達15000至40,000 RPM，用於精細拋光操作。兩臺電機均采用NC驅動的資產進行控制,以實現精度和精確度。該模型還具有多種過程控制功能。進料速率的研磨方式、研磨速度、俯仰角度和寬調節範圍都可以控制，以提高效率和精加工效果。該設備還具有三個由機器人手臂和主軸和側軸獨立完成的同時自動校正功能。這樣可以確保所有晶片都可以磨削並磨削到相同的尺寸,而不會有任何細微的差異。此外，施加在磨削輪和研磨輪上的壓力可以調整，以匹配晶片類型和尺寸，從而獲得更精確和完整的光潔度。總之，MITSUNAGA MFL-4B-5S是一種專為半導體基板和其他微電子元件設計的高精度晶圓研磨、研磨拋光系統。其獨特的特性和先進的工藝控制功能使其成為生產高質量、一致表面飾面的理想選擇。