二手 MITSUNAGA NH-6B #9257648 待售
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ID: 9257648
Double sided lapping machines
5B, 6.3B, 6.4B, 6B6S Specification
Motor
High frequency.
MITSUNAGA NH-6B是一種用於半導體基板的全自動晶圓研磨、研磨和拋光機。該設備設計用於加工直徑不超過6英寸的矽。采用三級主軸傳動機構提供高精度研磨和研磨,效果一致。第一階段是以每分鐘高達2000轉的速度旋轉的研磨主軸,利用金剛石磨盤對晶片表面進行研磨和剖面。第二個階段是研磨主軸,它以高達700 rpm的較慢速度移動,並使用金剛石或SiC磨料來達到非常精細的光潔度。第三個階段是拋光主軸,其工作速度高達1000 rpm,並使用天然或合成金剛石漿生產出極為光滑的表面。NH-6B系統還包含多個功能,以確保不同運行過程中的結果一致。其中包括一個高精度的線性軸單元,該單元允許研磨、研磨和拋光主軸與晶圓軸對齊以獲得高精度結果。機器還使用先進的PID(比例積分導數)反饋回路來控制和調整研磨、研磨和拋光主軸的速度,以確保恒定的扭矩和精確的切割條件。此外,該工具有內置的清潔站,以確保基板在加工前後無汙染。MITSUNAGA NH-6B是一種高度精確可靠的資產,在晶圓研磨、研磨和拋光的半導體工業中被廣泛接受。由於其高精度、一致的結果和自動化的特點,成為許多生產線的首選車型。設備容量大,能夠同時處理多個晶片,非常適合大批量生產要求。
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