二手 NAGASE INTEGREX W-4 #170039 待售

NAGASE INTEGREX W-4是一種全自動晶圓研磨、研磨和拋光設備。它具有先進的機器功能,能夠滿足統一、一致和精確的超高精度標準。系統從晶片加載到XY運動階段開始。加載完成後,晶片將自動傳輸到研磨階段。在此,空氣軸承主軸提供超高速旋轉,以在產生粒子的低風險下實現所需的高水平光潔度。通過對主軸轉速、位置和下力的監測來控制磨削.一旦研磨過程完成，晶片被運送到研磨階段，在那裏它們被安裝。在這裏，一個線性運動的運動帶被用來驅動晶圓和最小化粒子發射。研磨主軸采用主動減振裝置和所有軸上的精密伺服電機設計，以提供盡可能高的精度。最後，晶片被運送到拋光階段。采用了一種具有動態平衡和動態空氣推進器的脊鋼拋光盤，以提供納米級的精度。可以精確控制拋光壓力，在控制光潔度的同時消除瑕疵。W-4使用滾筒噴射機將晶片彈出，並使用單個輸送機以最精確的方式將其通過其余的過程。此外,該工具還具有與潔凈室兼容的抑制粒子生成設計,以及保護設備和人員免受突然損壞的安全資產。總體而言，NAGASE INTEGREX W-4是晶圓研磨、研磨、拋光的高性能型號。它旨在提供高效率的最佳速度和精度，使其成為半導體和醫療器械行業的熱門選擇。