二手 NAICHI FUJIKOSHI 9B-5L/P #9073244 待售

NAICHI FUJIKOSHI 9B-5L/P是由東京公司Naichi Fukikoshi生產的晶圓研磨、研磨、拋光設備。該系統能夠對半導體基板等硬質和軟質材料進行精磨、研磨和拋光。9B-5L/P配備了強大的30KW主軸電機,能夠加工直徑可達150 mm的晶片。它有一個靜水軸承單元，工作範圍為0.01 µm-0.1 µm，使晶片的精磨、研磨和拋光達到0.1 µm-0.002 µm的光潔度。該機進一步增強，配備了自動晶片裝載機、自動表面檢查工具、過程中監控資產以及用於冷卻磨床的工業級冷卻器。此外，它還具有防止拋光表面交叉汙染的漿液控制模型。9B-5L/P的整體結構包括四個主要組成部分：工作站、拉普站、拋光站和控制單元。工作站是設備的主要部件，包含主軸電機、高精度直線導軌和高速、高精度電子控制器。它具有1,000至6,000 rpm的可控轉速，並具有內置的減振功能。Lap Station包含兩組支撐研磨板的膝架、金剛石浸漬鍍層磨料、墊架和冷卻劑系統。拋光站持有拋光墊，向拋光墊提供力和壓力，並容納正在進行的監控單元。控制單元包含用於數據采集、數據處理和結果顯示的單元。總體而言,NAICHI FUJIKOSHI 9B-5L/P是一種堅固、精密的晶圓研磨、研磨和拋光機,與傳統方法相比,節省了大量時間和成本。適用於基材、金屬、陶瓷的精密加工，能夠實現微米級表面精加工。