二手 NAICHI FUJIKOSHI LPD 300 #9223002 待售

NAICHI FUJIKOSHI LPD 300是專門為自動化生產環境設計的最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統足夠精密，可為先進的微電子應用提供復雜的參數，可用於晶圓和模具級研磨、研磨、拋光等工藝，實現出色的表面質量和提高的均勻性。該機配有高精度對準相機單元和7軸機器人，確保機器人快速準確移動，並經過優化，為所有工藝操作提供可靠、可重復的界面。集成的光學輪廓測量機允許快速晶圓和模具級檢查，以便在研磨和拋光過程中快速反饋。這樣可以最大程度地減少人為幹預,並增加過程控制。該機有一個由數控精密加工部件構成的機械框架，具有優異的剛性和可重復性，並配有一個電動傳動裝置，可精確有效地控制每個軸。此外，磨削壓力調節工具允許近乎最佳的精度，以適應不斷變化的工藝要求。該機器提供了一個全自動和可編程的界面，以便於控制所有的過程操作。NAICHI FUJIKOSHI LPD-300為優化工作環境設計了可調溫控資產，機器還配備了集塵模型，以提高工藝安全性。此外，它還配備了冷卻設備，以確保在研磨和拋光過程中對晶圓表面的熱沖擊最小。為了提供可靠、高質量的晶圓研磨、研磨和拋光工藝,LPD 300還配備了雙面研磨機,具有獨特的銑削元件,可用於平整曲面和曲面,從而提高晶圓的均勻性。此外，它還配備了手動控制的控制模塊，以及用於全自動生產的集成可編程邏輯控制器（PLC）單元。總體而言,LPD-300是一個高性能、高精度的晶圓研磨、研磨和拋光系統,旨在滿足復雜的自動化生產環境的需求。它非常適合要求嚴格控制晶圓粒度、均勻表面光潔度、形狀和尺寸的工藝。