二手 NAICHI FUJIKOSHI SLM-140 #9050531 待售

NAICHI FUJIKOSHI SLM-140是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，用作精煉基板的集成兩步工藝。其底座是一臺與空氣執行器和高精度伺服電機集成的易於使用的機器。SLM-140設計用於2英寸至8英寸的各種晶圓尺寸的高效、精確的研磨、研磨和拋光。該系統結合了多種功能，以確保正在加工的晶片基板的高端質量。其分段磨輪在整個晶片表面提供了均勻的結果，同時消除了由於不均勻磨削而造成的晶片斷裂。研磨/拋光階段包括一個精確的壓力控制主軸頭，以減少表面粗糙度和提供高端部分到部分的一致性。NAICHI FUJIKOSHI SLM-140能夠在晶圓基板兩側測量0.3 μ m的粗糙度平均值（Ra）。該單元還設計用於高速處理大容量晶片，產生最高質量的光潔度。SLM-140配備了視覺機器以及各種自動化選項,以便能夠在各種應用程序中使用。集成視覺工具可用於定位、檢查和顯示晶圓基板上的特征。此資產還允許快速準確的機器設置、模型診斷和校準。它的自動化選項包括計算機數控（CNC）功能、相互連接的機床通信以及提供有關研磨和研磨/拋光階段參數的詳細信息的監控設備。NAICHI FUJIKOSHI SLM-140是一種先進的系統，設計用於各種晶圓尺寸的高效、精確的研磨、研磨和拋光。憑借其分段磨輪、精密壓力控制主軸頭、集成視覺單元和自動化選項,SLM-140能夠高速提供高端品質。