二手 NAICHI FUJIKOSHI USPL-12B #9276678 待售

NAICHI FUJIKOSHI USPL-12B是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在促進高效、精確的半導體晶圓加工操作。它由一個自動研磨、研磨和拋光單元組成，使用戶能夠始終如一地實現高水平的工藝控制和性能。該系統設計具有多種特點，在材料加工過程中提供最佳效果。該單元包括一個集成的磨削和拋光單元，具有自動磨頭、滑動臺和旋轉磨盤。磨頭設計為通過一定角度範圍旋轉，以實現所需的晶圓輪廓。滑動臺允許在研磨過程中加載和卸載晶片。旋轉研磨板提供了進入研磨板內部區域的晶片的通道，並允許在研磨過程中進行精確的控制。研磨過程由氣體等離子體研磨裝置管理，該裝置設計用於產生可靠、可重復的結果。該單元包括陶瓷基板、可調氣閥以及用於研磨過程的變速旋轉運動。這確保了在研磨過程中雜質含量被充分去除。拋光過程由變速拋光頭管理。磁頭可以調節以適應各種晶片型材，並在拋光過程中設有真空板來固定晶片。集成的主軸傳動機和變速控制工具可確保晶圓輪廓範圍內的結果一致。該資產還設有晶片幹燥站，用於在拋光過程之前清除晶片中多余的水分。USPL-12B晶圓研磨、研磨和拋光模型的設計可提供高精度、過程控制和整體性能。適用於一系列晶圓尺寸、型材和材料的加工。其集成的研磨、研磨和拋光單元降低了半導體晶圓加工的復雜性和成本。