二手 NANOTECH 140GPM #9312859 待售

NANOTECH 140GPM晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種小巧、高精度的設備,用於將基板精密研磨、研磨和拋光至表面表面,具有卓越的平整度、步長控制和優越的表面質量,適用於152 mm範圍的晶圓。該系統還配有直觀的自動調節磨頭，可編程為在不同厚度下自動調節磨頭壓力，單步提供最佳磨削拋光工藝。140GPM由多軸金剛石工具、高速主軸電機、同步旋轉和振蕩軸組成，高分辨率編碼器和定位精度為5弧秒。這樣可以以最小的刀具磨損對晶片進行精確的微研磨。NANOTECH 140GPM在X&Y中的最高轉速為28,000rpm,能夠以最高速度獲得最佳表面光潔度。該裝置還具有一個空氣軸承，使低溫操作，這是理想的實現精確晶圓研磨。140GPM提供先進的水冷配置和工業級過濾器,以有效地保持最高溫度40°C,並在整個過程中保持過程溫度穩定。此外，晶圓裝卸機具有專用的並行裝卸機構，可自動裝卸晶圓，以及精確定位的撥放機構。NANOTECH 140GPM利用高精度在線計量工具實時測量工藝參數。該計量資產用於監測研磨過程的特征值，以確保正確的過程控制和準確性。此外，離線測量模型允許精確、快速地測量晶圓的表面光潔度和平坦度。最後，140GPM配備了人性化的圖形界面來控制整個過程。這提供了一個簡單的方法來設置設備，並根據晶圓的大小和它想要的表面光潔度調整研磨參數。控制系統還允許數據存儲功能，以便對整個研磨和拋光過程保持可追蹤的記錄。