二手 NANOTECH NSP-610P #9156571 待售

NANOTECH NSP-610P晶圓研磨、研磨和拋光設備是一個全自動、多用途、工藝密集型的系統，設計用於半導體晶圓和其他各種基材的精確和可重復研磨、研磨和拋光。該裝置采用高功率超聲波研磨機進行高效分布式研磨，以及內置研磨機進行磨損和減壓研磨。研磨和拋光功能由單級、全自動研磨/拋光站提供，該站使用拋光墊進行研磨和拋光。NSP-610P機是高效、準確加工小型、中型和大型基材的理想工具。該工具圍繞一個精密的3軸工業機器人建造，提供方便安全的基板處理，最大循環時間為10分鐘。該機器人還設計用於易於集成額外的自動化系統，用於裝卸。此外,該資產與標準流程協議完全兼容,最多支持25個預設參數,並且可用於自定義流程協議。NANOTECH NSP-610P模型提供了一系列功能來優化特定應用的研磨、研磨和拋光工藝。Multi-Nozzle Ultrasonic Grinder允許選擇各種磨削類型,包括輪式、鉆頭式和菱形磨削,以實現不同的材料去除速率和表面光潔度特性。增厚指數（TI）和研磨/拋光速度,包括粗糙和精細的表面拋光,都是可獨立調節的,以確保每種基板都達到所需的表面質量。設備配有可編程邊緣保護警報，以確保模具邊緣以外的任何磨削/拋光停止，從而消除模具損壞的風險。此外,該系統還配備了高級診斷程序,並由高質量的組件構成,以確保長期的可靠性。該單元還提供了方便、精確、直觀的控制，使用9英寸觸摸屏和操縱桿對過程進行微調。NSP-610P機器提供卓越的性能,是實現半導體晶片或超導板的一致和精確處理的理想工具,非常適合航空航天、汽車、電子和醫療行業的應用。