二手 NELMOR RG1215-M1 #9114116 待售

NELMOR RG1215-M1是一種功能強大的晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於半導體加工、MEMS制造和其他相關應用的最高性能。該系統包括一個先進的雙軸磨頭、一個雙面研磨臺和一個可選的車輪拋光站。雙軸研磨頭由研磨電動機、研磨輪和高精度旋轉伺服電動機組成。旋轉伺服電機能夠以0.01°為增量精確控制砂輪的旋轉。精確的控制允許晶片的精確和更高的性能研磨。甚至適合低速研磨，以減少研磨輪的磨損。磨頭的集成自動Z軸使晶片上的特征能夠精確磨削。研磨臺的設計允許使用自由浮動的金剛石墊來平整研磨和拋光兩側的晶圓。它能夠一次研磨晶片的兩側，每個研磨臺一次最多可容納20個晶片，從而實現高吞吐量。內置數據記錄單元提供處理時間、研磨模式和施加力等數據。可選的車輪拋光站可用於完成打磨或研磨晶片。它能夠同時在晶圓兩側執行高精度表面拋光。該站包括一臺拋光電動機、四個拋光輪和一臺主軸電動機。主軸電動機和拋光電動機的旋轉運動可以以0.1°的增量精確控制，以確保高精度和可重復的過程。總之，RG1215-M1是一種優越的晶圓研磨、研磨和拋光機，用於半導體加工。具有高精度、精確度和重復性的晶片研磨、研磨和拋光能力。