二手 NOVELLUS Avanti 472 #9225556 待售

ID: 9225556
優質的: 1998
CMP Polisher 1998 vintage.
NOVELLUS Avanti 472設備是一種晶圓研磨、研磨和拋光系統,設計用於半導體材料的生產加工。它經過精心設計,能夠快速高效地提供高質量、均勻拋光的晶片,很少或根本沒有操作員幹預。NOVELLUS AVANT I472能夠處理直徑達300毫米的晶片。Avanti 472需要一種可以是晶圓盤、漿料、金剛石磨料、瓷磚和海綿的工藝介質。它具有運行不同類型的研磨工藝的能力,如電化學-機械拋光、化學-機械拋光和超光滑回磨。該單元的主要部件包括研磨拋光機、用於固定拋光表面的壓板、用於回收和再利用工藝介質的漿料回收機。機器的拋光室采用壓力、持續時間、速度等幾個可調參數設計,使操作員能夠設定研磨、研磨和拋光操作的確切要求。該裝置能夠保證均勻的研磨壓力,進一步有助於防止晶片變形。AVANT I472裝有各種傳感器,用於監視流程參數並提醒操作員有關流程中的任何更改。它有一個先進的晶圓監測工具,不斷檢查晶圓的質量,並提供有關拋光工藝進展的實時數據。此外,該資產有一個軟件接口模型,方便編程和監控相同。NOVELLUS Avanti 472還配備了符合OSHA要求的集成安全設備,確保操作員在進行拋光操作時的安全。該單元由不銹鋼制成,確保可靠性和耐用性。該系統易於操作,還具有高效的清洗裝置,可確保晶片表面無灰塵且安全處理。NOVELLUS AVANT I472是為半導體材料生產加工而設計的可靠、經濟高效的機器。該工具可確保高質量的拋光晶片能夠快速、輕松地生產,而操作員的幹預最少,對工藝參數的控制更大。
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