二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9226639 待售

NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472
ID: 9226639
晶圓大小: 6"
優質的: 1998
Tungsten CMP system, 6" 1998 vintage.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472四軸晶圓研磨研磨拋光設備是一臺最先進的晶圓加工機。它設計獨特,可處理各種晶圓尺寸,直徑可達300毫米。該系統具有直接驅動機器人工件處理單元,以及精密、高速、即時研磨和拋光頭。這種功能組合為用戶提供了卓越的準確性和可重復性。IPEC 472由直觀的圖形用戶界面(GUI)驅動,允許操作員輕松定制和控制機器。WESTECH 472包含了幾個車載安全系統,包括一個緊急停止開關和門上的多個聯鎖裝置。它還具有用於研磨室的真空蓄能器,允許無塵操作。SPEEDFAM 472由強大的CNC控制器驅動,提供精確的轉速和運動控制。該工具還包含一個多區域溫度控制資產,以確保整個晶圓的熱條件一致。這確保了整個研磨和拋光過程的最大精度。NOVELLUS 472配備了自動化的媒體補給模式,使用戶可以輕松地在媒體等級之間切換。472的先進速度和精度允許晶圓研磨和研磨應用,以及最苛刻應用的超精細拋光應用。NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472包含4軸控制,以獲得最大的靈活性和準確性。它由一個精密的雙頭研磨和拋光主軸提供動力,可達到12,000 RPM,用於晶圓取向和材料類型的任意組合。綜合研磨室和多個研磨頭每次提供均勻、一致的結果。總之,IPEC 472是一款功能強大、先進的晶圓加工設備,旨在每次為用戶提供優越的研磨和拋光效果。其高速度和精確度,加上直觀的設計和易於定制,使其成為晶圓研磨、研磨和拋光應用的頂級解決方案。
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