二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293761797 待售

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676是一款高性能、綜合性的晶圓研磨、研磨、拋光設備，專為復雜的半導體加工應用而設計。該系統適用於包括低維和非均勻晶片在內的多種晶片的研磨、研磨和拋光，適用於廣泛的行業，包括半導體、航空航天、汽車和醫療。該單元配備了先進的過程控制、自動CIP更新、自動過程管理機和機載配方維護。該工具采用了先進的過程控制軟件，使其能夠在高精度和縮短設置時間的產品生產中獲得精確的精度。此外，資產還提供了對工藝工具移動、測量和實現預期結果所需的其他參數的綜合監測和控制。該模型集成了多個組件，包括晶片卡盤、晶片傳輸設備、研磨拋光銷、預對準單元、真空系統，以及兩臺大型數控伺服電機。該裝置設計用於每小時60個晶圓的吞吐量,提供靈活的配方管理和編程,並能夠進行各種研磨和拋光操作,包括RA和Rz測量。此外，機器還裝有一個六英寸的腔室，用於清洗和準備晶片。為確保人員和工具的安全,IPEC 676配備了監視和訪問資產（MAS）和多個傳感器,用於監視模型參數、過程參數和操作員訪問信息。MAS還使遠程進程監視（包括數據記錄）能夠幫助跟蹤進程。該設備易於與現有工藝設備集成，提供了一個可以接受各種晶圓和工藝的高度可調的平臺。模塊化設計允許在操作需求或流程需求發生變化時進行系統升級和更換。此外,該設備還提供高級診斷和維護功能,使用戶能夠檢測任何機器問題並進行必要的維修。通過優化工藝參數,WESTECH 676提供了高精度的處理和可靠的性能,並具有最小的停機時間和較低的維護。