二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293814146 待售

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676晶片研磨、研磨和拋光設備是一種用途廣泛的設備，設計用於處理各種尺寸的半導體晶片。該系統旨在為制造集成電路所涉及的所有過程提供一個經濟高效的單單元平臺。IPEC 676采用機械和化學工藝的組合，以達到所需的表面光潔度。這臺機器配備了6軸機械臂，設計用於移動和定位生產周期所需的一系列工具。手臂包括真空安裝的晶片卡盤和各種工具主軸。此外還有一個集成氣動、可變級速度控制和再循環的工藝室，以及一系列滿足各種工藝要求的標準配件。WESTECH 676包含了一個與傳統研磨系統類似的獨特的計算機控制研磨工具。晶片被放置在卡盤中，機械臂將它們移動到磨輪上。計算機使用特殊的研磨磨料控制研磨輪的速度以及施加在晶片上的壓力。研磨過程完成後，機械臂將晶片移動到化學研磨過程。將化學蝕刻劑引入晶片，該晶片用於清除研磨過程中殘留的碎片或殘留物。研磨過程完成後,將啟動拋光步驟。手臂將晶片置於拋光墊上，拋光墊用各種磨料磨損，以達到理想的拋光效果。拋光工藝進一步細化晶片表面，並清除研磨階段遺留下來的殘留碎片。拋光過程完成後，對晶片表面進行最後沖洗。這種沖洗是為了去除任何拋光殘留物，以及提供一個幹凈，光滑的表面光潔度。NOVELLUS 676旨在提供一個高度通用、高效和經濟實惠的平臺來處理復雜的集成電路。該資產采用機械和化學技術來實現所需的表面光潔度，並可支持各種工藝，包括研磨、研磨和拋光，具體取決於正在執行的特定集成電路。676晶片研磨、研磨和拋光模型是半導體晶片制造的有效解決方案。