二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293830228 待售

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676設備是一種堅固、多級的晶圓研磨、研磨和拋光機,專為先進的薄晶圓加工而設計。它為直徑不超過6英寸的基板提供可靠、高精度的研磨、研磨和拋光,並提供1,200至4,000 RPM的自適應速度範圍。系統由具有驅動機構、研磨頭和拋光頭的基座單元組成；用於晶片裝卸的多個臂；以及各種配件。研磨頭和兩個拋光頭為基材加工提供了必要的平臺。研磨頭包括一個不可滲透的真空波紋管裝置，防止泥漿液滴沈積在晶片上，或夾在真空波紋管內。可調節的速度範圍（1,200至4,000 RPM）允許精確控制研磨和拋光時間。兩個拋光頭能夠在每個晶片上施加高達200磅的力，在加工過程中提供耐用性和準確性。此外，IPEC 676 Machine還包括一個收集廢舊磨削材料的真空工具，以及一個控制元件溫度的空氣資產。空氣模型旨在將溫度保持在110°C以下，循環空氣體積可調，以最大限度地提高空氣流動效率。晶圓也通過可調夾具精確定位在拍頭上，機器可以配置為手動或自動操作。該機配備了包括燈簾、緊急停止裝置和風險分析電路在內的安全功能，不斷評估潛在風險，以確保機器的安全。WESTECH 676設備適用於精密薄片加工，是半導體和超導器件批量生產的理想選擇。