二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #9212984 待售

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676晶圓研磨、研磨、拋光設備是半導體和電子行業表面制備的高度通用、技術先進的系統。它是一個獨立的單元，能夠在一系列特定於應用的晶片（如PAD、ARX和BOPP）上研磨和拋光直徑達12英寸的晶片，表面光潔度為Rmax/Rz ≤ 8.0µm。該裝置能夠在高達150毫米/秒的速度下進行研磨、研磨和拋光,由於其高性能和精確度,強烈建議將其用於300毫米晶片。IPEC 676利用了最新的磨料技術,提供了多種特性和功能。它具有堅固的雙主軸設計,可同時研磨、研磨和拋光兩個晶片。高度剛性的XY級可確保晶圓的精確運動,而敏感的Z級可在一系列晶圓上實現更精細的表面平面化。研磨/研磨/拋光臺由BLC-40環氧樹脂基材制成，耐汙染和翹曲，還包含一臺獲得專利的直邊持有機，可確保整個晶片的研磨和拋光壓力相等。易於使用的圖形用戶界面使操作員能夠準確地對機器進行編程，並監控晶圓的性能。除了晶圓研磨、研磨、拋光外，WESTECH 676還具備RIE、DRIE、蝕刻工藝等能力。它包括一整套安全功能，如嵌入式聲學監視器、防綁定傳感器和灰塵管理系統，以確保操作員和晶片的安全。該工具還配備了PC控制功能,可實現多種功能,包括監視操作、診斷和文檔。SPEEDFAM 676是一種高度可靠和高效的資產,非常適合一系列晶圓表面制備應用。