二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #9304134 待售

NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於生產先進的半導體集成電路（IC）封裝。該系統具有磨削、研磨和拋光三個階段,可生產出質量最高的晶片.在研磨階段，IPEC 676單元使用先進的直接驅動主軸電機以10,000 RPM的標稱轉速旋轉，使其能夠在不影響質量的情況下高速處理晶片。研磨階段使用磨料介質，如金剛石或氧化鋁，嵌入鍍鋅鋼輪中，以去除晶圓表面多余的材料。這會產生可能導致微裂紋的熱沖擊，而WESTECH 676機器則通過控制磨輪溫度的原位裝置來阻止。研磨階段使用松散的磨料，如金剛石粉或氧化鋁粉末，降低晶片的表面粗糙度。研磨過程在介質漿料中進行，機械振動由自動控制器施加在研磨板上，以確保結果一致。SPEEDFAM 676工具的最後階段是拋光階段。在此過程中，晶片以低速旋轉，拋光墊以高度受控的方式在晶片表面移動。這有助於去除晶片的粗糙度並創建光滑的光潔度。該資產具有帶有直觀圖標的圖形用戶界面,可幫助瀏覽不同的處理階段。該模型還包含各種針對不同晶圓類型的內置過程配方，以及用於數據收集和分析的模塊。這有助於確保一流的質量控制,並提供高效的性能。總體而言,NOVELLUS 676是一種先進的解決方案,用於研磨、研磨和拋光精密的IC封裝,具有直觀的用戶界面和通用的過程控制功能。該設備旨在提供快速的結果,同時保持高精度和一致性。