二手 NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9276834 待售
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ID: 9276834
CMP System, parts machine
With MP400 Polisher
Interconnecting cables
Throughput: >40 Wafers/hr
Fully automated cassette to cassette (C2C)
(4) Wafer planarizers
Endpoint detection
Dual pad conditioning
Electrical cabinet
Spray box assembly
Automated wafer handling robot
Wet cassette assembly
Dual cassette basin
System Control (SysCon)
Control station
Head assembly
Internal bearings
Polish dynamics
Polish pad
Endpoint detection system
Manual
Includes:
Main polishing unit
Chase control panel
GENMARK Gencobot 3L / 4 Robot with end-effector
(25) M-825 Wafer address sensors
Chemicals:
Hydrogen peroxide concentration: 7.4% to 50%
W2000 Semi-sperse: DI Water and proprietary metal oxide
Power supply: 120/208 VAC WYE, 3 Phase, 60 Hz, 60 A.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676是先進的晶圓研磨、研磨、拋光設備。該系統旨在對各種過程進行精確控制,確保獲得最高質量的結果。Avantgard 676配備了大功率的金剛石磨頭，用於將半導體晶片的表面磨碎。這個頭可以達到小於0.4微米的晶粒大小。Avantgard 676還配備了變速高達120 rpm的研磨單元，用於將晶片拋光至光滑、均勻的表面。這臺研磨機的頭部能夠達到小於0.6納米的表面粗糙度。Avantgard 676配備了強大的四點伺服控制拋光工具。該資產采用了專利的「伺服拋光」技術，使操作員能夠對拋光工藝進行極大的控制。Avantgard 676還采用了先進的IPEC清洗模式，利用加壓的氮氣射流去除磨削研磨過程後殘留在晶片表面的微小顆粒。這項技術有助於確保晶片表面盡可能清潔，不受汙染。此外,Avantgard 676還設計為用戶友好且高效。其操作員界面具有觸摸感應顯示器，便於訪問設備的控件，並具有針對特定應用程序的預設程序。它還具有一個內置的診斷系統,可以識別並提醒人員在出現問題時註意這些問題。該機還配備了綜合監控警戒單元，有助於減少停機時間，確保研磨、研磨、拋光過程平穩運行。總體而言，IPEC Avantgaard 676是一款先進的機器，可以讓操作員快速、準確地研磨、研磨和拋光半導體晶片。此工具具有強大的金剛石磨頭、研磨資產和拋光模型,可精確控制過程。此外,它還具有用戶友好、易於使用的接口和監控系統,可幫助減少停機時間並確保獲得最高質量的結果。
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